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(1)主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要

求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
　　
(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強

的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
　　
(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，上海正奧泵業制造有限公司

并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機

中的滑閥泵，就是粗油泵。
　　
(4)維持泵：在真空系統中，氣量很小時，不能有效地利用前級

泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。

如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。